大阳城集团娱乐游戏密封产品分类一——超强耐腐蚀类 Low Etch Rate

采用化学稳定性极高的金属化合物粉末作为填加物（如硫钡BaSO4，二氧化钛TiO2，陶瓷等） 

优点：极好的耐等离子腐蚀性能

应用：深硅刻蚀设备、AMAT ETCH 装备的标准配置

应用位置：腔体门板、进气口

超强耐腐蚀类材料物性