1、微波系统无损传输至腔体远端形成等高密度离子体，等离子随着真空泵抽离气体形成的气流，均匀流动到腔室内，并与加热的晶圆表面光刻胶均匀反应；2、微波等离子体自偏压低，等相刻蚀效果好，同时重型粒子轰击、溅射和注入效应小，最低限度造成光刻胶去除同时对基材的损伤。适用在晶圆基各种工艺生产制造中，如集成电路、...