采用能强化聚合物稳定性且抗高温的填加物（如石墨等） 最高工作温度：325度 应用：半导体高温制程，炉管，退火等制程 应用位置：中心环密封，过滤器密封耐高温材料物性

采用化学稳定性极高的金属化合物粉末作为填加物（如硫钡BaSO4，二氧化钛TiO2，陶瓷等） 优点：极好的耐等离子腐蚀性能应用：深硅刻蚀设备、AMAT ETCH 装备的标准配置应用位置：腔体门板、进气口超强耐腐蚀类材料物性